연구 개발
Research and development
공통 기술
Generic Technology
정밀 기계 설계
마이크로 나노급 정밀도 설비는 기계 설계 정밀도에 대한 요구가 매우 높다.촉점 스마트 기계 디자인은 국제화의 선진적인 봉인 설비 기계 디자인 이념을 참고하고 흡수하는 동시에 모델링과 모방 기술을 가지고 광학, 재료학, 역학 등 학과를 결합시켜 강도, 강도, 성능 등 각 방면에서 기계 본체의 정밀도, 전동 정밀도와 결합 운행 정밀도를 향상시킨다.
소프트웨어 프레임워크 플랫폼
소프트웨어 플랫폼은 주로 하층(시스템 소프트웨어), 상층(응용 소프트웨어) 두 부분으로 구성된다.설비에 사용되는 시스템 소프트웨어는 하드웨어 시스템을 연결하고 제어하는 하부 소프트웨어이다.응용 프로그램은 인간 인터페이스(UI)에 사용되는 상위 소프트웨어다.당사의 국제화 소프트웨어팀은 국제 선진 반도체 설비 소프트웨어 프레임워크 사고방식을 참고하여 개발한 고정기 소프트웨어 플랫폼으로 독립적이고 호환되며 이식 가능한 모듈화 프레임워크로 구성된 것이 특징입니다.이것은 사용자에게 미관을 제공하고 조작이 간단하며 다양한 기종의 응용 인터페이스를 겸용할 수 있다.개발자는 팀워크 개발 환경을 갖추고 하드웨어 모듈을 봉인하는 방식으로 소프트웨어가 하드웨어 이동의 영향을 받지 않고 다양한 기종의 소프트웨어 프레임워크 플랫폼을 호환할 수 있도록 한다.
시각 프레임워크 알고리즘
고해상도 2D 영상 시스템, 고정밀 3D선 레이저 윤곽기와 스펙트럼 코크스 센서를 베이스 하드웨어로 사용한다.1/50 픽셀 정밀도의 이미지 포지셔닝 알고리즘과 자체 최적화 딥러닝을 바탕으로 하는 식별 알고리즘을 소프트웨어 기반으로 한다.
고속 고정밀 운동 제어
A/운동 제어와 관련된 작업 동작은 실시간 환경에서 실행된다.고속: 공예 박자 응답 시간 <1ms.고정: 공예 동작 동기 오차<1ms.B/국제적으로 앞장서는 운동 제어 기술을 이용하여 정성스럽게 설계된 복합재료 기계 구조와 결합하여 관건적인 공예 동작의 최고 속도>2000mm/s;가속도>50000mm/s^2;정밀도는 ±3umC/진동 억제보다 작다. 정밀력 제어 기술, 동력학 모방, 재료 분석, 기구 결합 설계, 테스트 분석을 결합하면 설비의 환경 진동, 운동 과정에서의 진동, 운동 포지셔닝 후의 잔여 진동 등 각종 진동 문제를 효율적으로 해결할 수 있다.
CAE 에뮬레이션 기술
당사는 모델링과 모방 분석 시스템을 가지고 컴퓨터 모델링을 통해 구조 변형, 유체 유동, 전열, 전자 전환 등 물리 과정에 대해 설비에 대해 유한 원역학 분석을 하면 모든 역학 파라미터의 동적 분포를 얻을 수 있습니다.그리고 설비 부품의 진동 성능,particle 제어 성능, 구조 미변형, 응력 분포, 온도 제어 성능, 전기 기계 성능 등을 평가하고 예측한다.이렇게 하면 CAE 모방 분석은 설비 제품의 신속한 교체, 최적화, 개선을 돕고 연구 개발 비용과 생산 위험을 낮출 수 있다.
TEAM

회사의 핵심 팀은 일본 신천, 미국 KnS, 싱가포르 ASMPT, 중국 우주연구원, 미국 국가에너지실험실, 홍콩과학기술대학 혁신센터, 하공연구소 등 국제 유명 반도체 설비 회사와 연구 개발 기구에서 왔다.

연구 개발 레이아웃
R & D layout